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Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片

簡(jiǎn)要描述:Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片,也稱為光束分離器,旨在通過在 EUV 和 NIR 波長(zhǎng)之間提供高分離效率,用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用。 這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計(jì),支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍。

  • 產(chǎn)品品牌:其他品牌
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2025-11-03
  • 訪  問  量:2104

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
組件類別光學(xué)元件應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,電子/電池

Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片

  • 將 EUV 與 NIR 激光源分開

  • 透射型熔融石英設(shè)計(jì)最大限度地延長(zhǎng)組件使用壽命

  • 支持 13.5nm、20nm 和 30nm 應(yīng)用

Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片,也稱為光束分離器,旨在通過在 EUV 和 NIR 波長(zhǎng)之間提供高分離效率,用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用。 這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計(jì),支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍。 除了產(chǎn)生高次諧波外,這些反射鏡還可用于支持 EUV 應(yīng)用的系統(tǒng),例如 EUV 光刻、EUV 納米加工和等離子體實(shí)驗(yàn)。

通用規(guī)格


尺寸容差 (mm):+0.0/-0.2直徑 (mm):50.80
厚度 (mm):5.08 ±0.1鍍膜:Dielectric Multilayer AR
基底:Fused Silica表面質(zhì)量:20-10
平行度(弧分):<5面形計(jì)算 (RMS):<λ/10 @ 633nm


產(chǎn)品型號(hào)


波長(zhǎng)范圍 (nm)產(chǎn)品編碼
10 - 25#18-279
20 - 40#18-280


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